大咖访谈陛通董事长宋维聪薄膜沉积设备攻坚的难点与路径

大咖访谈陛通董事长宋维聪：薄膜沉积设备攻坚的难点与路径

|做精做深，重点突破薄膜沉积设备在半导体设备价值链中占比高达25%，是半导体设备国产化的重要一环。近些年国内薄膜沉积设备企业取得很大进展，无论是技术储备还是产品线的丰富程度，都具备了很强的市场竞争力。陛通就是其中优秀一员，陛通已有多款产品获得客户验证，而且产品的国产化率超过80%。那么国产薄膜沉积设备何时取得全面突破，突破的路径是什么？我们采访了上海陛通半导体能源科技股份有限公司董事长宋维聪，来分享薄膜沉积设备国产化的进展。宋维聪：于1991-1993年为美国富士通个人电脑公司工艺工程师，1993-2006年担任全...